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KASHIYAMA省能耐用干式真空泵MU-P/H系列 工藝耐受性優良節能泵 從輕負荷到蝕刻·CVD 可廣泛使用 搭載HOT-N2吹掃的MU-H系列

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樫山工業KASHIYAMA干式真空泵 水封真空泵由圓形外殼和葉輪組成，葉輪安裝在與外殼偏心的位置。當在機殼內加入適量的水并轉動葉輪時，水在離心力作用下一邊移動一邊形成與機殼同心的圓形水膜。

KASHIYAMA水封真空泵 節能，省電世界！！ （※排氣速度同級） 可嵌入所有制造裝置 2萬臺以上的出貨和超長期運行實績

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